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產(chǎn)品介紹:

    硅料磷、硼雜質(zhì)含量測試儀，其主要用途是對多晶硅料的包括磷硼含量在內(nèi)的超過75個(gè)元素進(jìn)行分析。




產(chǎn)品特點(diǎn)

■ 干擾少，精密讀高，可以測量至 ppb 甚至 ppt 級的微量元素
■ 測試范圍廣，可以測量超過 75 個(gè)以上的元素
■ 分析速度快，每個(gè)樣品的所有元素 2-6 分鐘
■ 可同時(shí)分析多種元素 , 尤其適合分析用其它方法難以測定的元素
■ 超高靈敏度的元素分析儀器
■ 能進(jìn)行無人控制操作
■ 具有痕量檢測能力
■ 極低的儀器背景至 0.5-0.05cps
■ 體積小巧、功能全面
■ 可迅速獲取同位信息，進(jìn)行半定量分析
■ 最快的全譜同時(shí)測量能力和強(qiáng)大的抗干擾能力
■ 分辨率與靈敏度的最佳配置，優(yōu)異的穩(wěn)定性以及無與倫比的同位素豐度比值測量精密度
■ 動(dòng)態(tài)線性范圍達(dá)到 7 個(gè)數(shù)量級以上
■ 每一個(gè)樣品中需要測量的元素?cái)?shù)量多少均不影響樣品分析的整體速度

技術(shù)指標(biāo)

■ 檢出限： ppt 級
■ 樣品分析能力：多元素分析，可以測量超過 75 個(gè)以上的元素，每個(gè)樣品的所有元素 2-6 分鐘
■ 測試范圍：可測包括 B 、 P 等在內(nèi)的超過 75 個(gè)元素
■ 線性動(dòng)態(tài)范圍： 10的8次方






推薦工作條件

■ 室內(nèi)環(huán)境溫度15～30℃；相對濕度（全天候）不超過60%
■ 室內(nèi)無強(qiáng)磁場干擾；無妨礙儀器正常工作的震動(dòng)
■ 室內(nèi)環(huán)境清潔、干燥、沒有灰塵、無腐蝕性氣體
■ 硅料磷硼含量測試儀是精密儀器 ，為防止酸、堿及其它腐蝕性氣體、煙霧侵蝕儀器，必須和化學(xué)實(shí)驗(yàn)室分開；儀器光學(xué)系統(tǒng)對濕度、溫度要求很高，實(shí)驗(yàn)室應(yīng)安裝空調(diào)及去濕設(shè)備




典型用戶

南玻集團(tuán)、洛陽中硅、新光硅業(yè)等