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產(chǎn)品簡介

         OWT-100采用PHYS獨有技術(shù)，對透明、半透明材料的厚度、TTV進行無接 觸測量，其對

        透明、半透明材料的高精度精確測量的性價比在同類測試儀器中是無可比擬的。
 
 產(chǎn)品特征

        ■無接觸無損傷測量

        ■高精確度及重復(fù)性

        ■測量材料范圍廣，透明、半透明、不透明幾乎所有材料的厚度、TTV

        ■抗干擾強，穩(wěn)定性好                                       

        ■強大的工控機控制和大屏幕顯示

        ■一體化設(shè)計操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定

        ■為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供精確的無接觸測量

        ■ 超高測試速度


技術(shù)指標

        ■測試尺寸：50mm-200mm.

        ■厚度測試范圍：1000 um，可擴展到1700 um  

        ■厚度測試精度：+/-0.1um

        ■厚度重復(fù)性精度：0.050um

        ■TTV 測試精度: +/-0.05um

        ■TTV重復(fù)性精度: 0.050um

        ■測量時間: <1秒

        ■材料：透明、半透明材料

        ■尺寸: 560X650X400mm

        ■電源：220V 50HZ  300W
 
 典型客戶：        

    藍寶石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企業(yè)等