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檢測(cè)儀器 >> LED藍(lán)寶石碳化硅質(zhì)量檢測(cè)儀器 >> 平整度測(cè)試系統(tǒng):OWT-200
                

 

 

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

    OWT-200平整度測(cè)試系統(tǒng),采用光學(xué)方法測(cè)量晶圓、藍(lán)寶石、Sic、Si、玻璃等材質(zhì)的表面特征,在無需任何接觸的情況下測(cè)量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等,可在線和離線測(cè)量。

 

產(chǎn)品特點(diǎn):
 厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測(cè)量;
 無接觸測(cè)量;
 無需校準(zhǔn);
 高精度、高重復(fù)性;
 樣品臺(tái)可選:4寸、6寸、8寸;
 強(qiáng)大的分析軟件,可顯示3D表面形貌;
 同時(shí)進(jìn)行各種參數(shù)的測(cè)量,具備超高的測(cè)試速度;

 

技術(shù)參數(shù):
 TTV
     精確度:±0.1um
     重復(fù)性精度:0.01um

 厚度
     精確度:±0.2um
     重復(fù)性精度:0.1um
     測(cè)試范圍:50-2000um

 翹曲度/彎曲度
     精確度:0.5um
     重復(fù)性精度:0.2um
     測(cè)試范圍:200um

 整機(jī)參數(shù)
     測(cè)量時(shí)間:<100秒
     最大測(cè)量尺寸:8寸
     尺寸:550*602*291mm
     整機(jī)功率:800W

 

典型客戶:
藍(lán)寶石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企業(yè)等。

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