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   全自動光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動調(diào)節(jié)樣品高度和傾斜度工作中解放出來,樣品對準(zhǔn)是為了保證橢偏儀測量的可重復(fù)性和精確性。已獲得專利的自動樣品對準(zhǔn)裝置能夠顯著減少操作失誤;能夠工作于透明或反射基底;能夠進行地貌圖測量,包括翹曲晶片。

產(chǎn)品特點:
全自動樣品校準(zhǔn)
高測量速率 < 8秒
消除了全波段范圍內(nèi)的盲點
可測量透明和吸收基底
高測量精度
具有實驗數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能
友好的軟件界面,強大數(shù)據(jù)分析功能
具有實驗數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能


技術(shù)指標(biāo):
光源:氙燈
光斑直徑:1-3mm
入射角范圍:20°到90°自動控制
波長范圍:350-850nm, 250-1100nm, 250-1700nm:0.002°~ 0.02°
波長精度:1nm
 測量時間: < 8s (取決于測量模式和粗糙度)
 入射角度精度:0.01


可選配:
CCD線陣列探測元件:200-850nm,350-1000nm
樣品顯微鏡
高穩(wěn)定性消色差補償器
透射測量架
XY移動樣品臺


典型客戶:
美國,歐洲,亞洲及國內(nèi)太陽能及半導(dǎo)體客戶。

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